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Pura高純氣露點(diǎn)變送器

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  • Pura高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀

    Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的*適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。


    亮點(diǎn):
    ·測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)
    ·測(cè)量穩(wěn)定,重復(fù)性好
    ·高度集成的采樣裝置
    ·模擬和數(shù)字輸出
    ·安裝簡(jiǎn)便
    ·VCR 過程接口
    ·設(shè)計(jì)緊湊小巧
    ·顯示/報(bào)警單元可選
     



    傳感器
    傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
    量程 -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
    精度 ±1°C   -40 ~ -60°C;
    ±2°C   -61 ~ -100°C;
    ±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
    分辨率 0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
    1°C           -80 ~ -100°C;
    1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
    壓力 zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa
    氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
    電氣
    電源 通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA
    輸出 4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
    zui大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
    輸出出錯(cuò)狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
    機(jī)械性能
    傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光
    氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
    Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
    安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無(wú)需預(yù)留管路空隙
    底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm
    Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
    尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
    Pura Sensor 型: 132 x 35mm
    重量 Premium 或 OEM 型: 450g
    Pura Sensor 型: 180g
    包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
    Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
    所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
    Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

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